Echipamente de bază ale liniei de producție automatizate de curățare PR pentru producătorii de afișaje LCD
Linia de producție automată de curățare PR (fotorezist) este un echipament de bază pentru procesele umede în fabricarea ecranelor LCD. Este utilizat în principal după procesul de fotolitografie pe substratul matricei pentru a îndepărta complet fotorezistul rezidual, reziduurile de gravare și micro-contaminanții de suprafață. Este un echipament crucial pentru asigurarea preciziei circuitului panoului și pentru îmbunătățirea randamentului produsului. Perfect potrivit pentru mediul de producție strict al unei camere curate de clasa 100, acesta realizează operațiuni de curățare în buclă închisă-înaltă-precizie, automate și-fără poluare.
Vizând reziduurile fotorezistente pozitive și negative după procesul de fotolitografie, acesta utilizează un proces de curățare cu ultrasunete în mai multe-etape + un proces de clătire cu preaplin cu apă pură pentru a îndepărta în profunzime resturile, contaminanții organici, particulele de praf și alte impurități rămase după gravarea fotolitografiei. Poate îndepărta complet reziduurile microscopice sub 0,5 μm, prevenind defecte precum circuitele deschise ale panoului, punctele luminoase și petele Mura cauzate de impurități. Combinat cu un sistem de filtrare de-precizie înaltă de 0,1 μm, previne contaminarea secundară. Realizează o îndepărtare completă, fără deteriorare, evitând impactul straturilor de adeziv reziduale asupra proceselor ulterioare de gravare și acoperire, cu o rată de acoperire a îndepărtarii de 100%.
Modulul de control electrostatic-ESD încorporat controlează strict valoarea electrostatică în intervalul Mai puțin sau egal cu ±100V. Combinat cu materialul anti-cavității și tehnologia de livrare a roților magnetice fără{-contact, evită descărcarea electrostatică de a deteriora circuitele de precizie ale panoului, prevenind în același timp zgârieturile, ciobirea și generarea de praf prin frecare pe substratul de sticlă, maximizând astfel protecția integrității substratului.
Cameră de testare cu temperatură constantă la temperatură ridicată și scăzută
Nucleul echipamentelor automate de curățare și uscare a liniilor de producție pentru producătorii de ecrane LCD integrează un mod dublu de uscare: tăiere cu cuțit de aer și uscare cu aer cald la -temperatura constantă. Acest lucru îndepărtează rapid petele de apă de pe suprafața substratului, obținând uscare-fără filigran și-fără urme. După uscare, conținutul de umiditate al suprafeței substratului se apropie de zero, permițând transferul direct la următorul proces fără prelucrare secundară, asigurând continuitatea procesului. Un sistem de control PLC permite operarea complet automatizată-în buclă închisă de încărcare, poziționare, curățare și descărcare. Acceptă funcții de-monitorizare și alarmă în timp real pentru reglarea concentrației soluției de curățare, temperatură, umiditate și curățenie. Camera etanșă și designul cu gradient de presiune negativă împiedică scurgerea de gaze chimice. În combinație cu mediul de presiune pozitivă al unei camere curate de clasa 100, permite, de asemenea, reciclarea apei ultrapure și clasificarea și recuperarea lichidelor reziduale, îndeplinind atât cerințele de economisire a energiei-, cât și de protecție a mediului.
În comparație cu curățarea manuală tradițională, liniile de producție complet automatizate de curățare PR au avantaje de neînlocuit: eficiența curățării este crescută de peste 3 ori, iar aproape 10.000 de substraturi de sticlă pot fi prelucrate pe schimb, scurtând semnificativ ciclul procesului; consistența de curățare este excelentă, îndepărtând cu atenție micro-reziduurile mai mici de 0,5μm, controlând rata defectelor panoului până la 0,5PPM, evitând efectiv defecte precum pete luminoase, pete întunecate și întreruperi de circuit pe ecran; echipamentul adoptă un design de-economisire a apei și energie-, cu o rată ridicată de recuperare a apei pure și colectare și tratare a apelor uzate clasificate, îndeplinind cerințele de producție de protecție a mediului; Întreaga mașină este realizată din PVC-rezistent la coroziune și oțel inoxidabil SUS304, cu etanșare puternică, curățare și întreținere ușoară și este potrivită pentru funcționare continuă de 24-ore în camerele curate, devenind echipament standard pentru producătorii de ecrane LCD pentru a construi linii de produse de ultimă generație și pentru a spori competitivitatea de bază.
Echipamente de bază în atelierul de fotolitografie al producătorilor de ecrane LCD
Echipamentul de expunere este echipamentul de bază în atelierul de fotolitografie și o zonă cheie de proces în procesul de fabricație a matricei LCD. Cunoscut și ca o mașină de litografie cu panouri, este un dispozitiv optic de proces umed de înaltă precizie-. Funcția sa principală este de a transfera modelul de proiectare a circuitului substratului pe un substrat de sticlă acoperit cu fotorezist prin expunere optică, ceea ce este crucial pentru formarea micro-circuitelor în panou. Transferul precis al modelului de circuit de la fotomasca pe substratul de sticlă este o condiție prealabilă pentru procesele ulterioare de gravare, acoperire și curățare PR, determinând direct calitatea ecranului de afișare. Echipamentul utilizează un proces de expunere fără-contact, potrivit pentru substraturi de sticlă LCD subțiri, de dimensiuni mari-, evitând zgârieturile, deteriorarea și contaminarea substratului.
Principalele puncte tehnologice includ un sistem de aliniere de înaltă{0}}precizie, cu o precizie de suprapunere la nivel de micro{-sau chiar sub-micron-, asigurând zero dezechilibru în stivuirea circuitelor multi-strat, cu erori controlate la câteva miimi din diametrul unui fir de păr; utilizarea unei surse de lumină cu expunere uniformă și a tehnologiei de focalizare dinamică pentru a obține fluctuații ale energiei de expunere<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Întregul atelier folosește o sursă de lumină galbenă monocromatică de 589 nm, care elimină complet lumina cu lungime de undă scurtă, cum ar fi lumina ultravioletă, albastră și albă, împiedicând aceste raze să declanșeze prematur reacții fotochimice în fotorezist, provocând defecte fatale, cum ar fi alinierea greșită a modelului, linii incomplete, scurtcircuite și circuite deschise. Sistemul de iluminare folosește o combinație de LED-uri galbene dedicate și filtre dublu-strat pentru a preveni scurgerea luminii parazite; ușile, ferestrele și ferestrele de observație sunt echipate cu materiale filtrante anti-ultraviolete; telefoanele mobile, camerele foto, lanternele cu putere mare-și alte surse de lumină externe sunt strict interzise în interiorul atelierului, iar controlul disciplinei luminii pe toată-zona este implementat pentru a elimina riscul expunerii premature a fotorezistului de la sursă.
Introducere în camerele curate din clasa 100 pentru producătorii de ecrane LCD
În domeniul producției de înaltă{0}}precizie LCD, camerele curate din clasa 100 (săile curate ISO Clasa 5) sunt unitatea de producție de bază și un indicator cheie al puterii tehnice a unui producător și al randamentului produsului. Ele sunt utilizate pe scară largă în etapele de bază ale procesului, cum ar fi matricea, asamblarea celulelor și ambalarea modulelor de către companii de top de afișare precum BOE, TCL CSOT, HKC și Tianma. Aceste camere curate au standarde stricte de curățenie, cu nu mai mult de 100 de particule de praf în suspensie mai mari sau egale cu 0,5 μm în diametru per picior cub de aer (mai puțin sau egal cu 3520 pe metru cub). Acest nivel de curățenie îl depășește cu mult pe cel al sălilor de operații medicale, servind ca o „barieră de bază” pentru a împiedica praful, electricitatea statică și contaminanții chimici să interfereze cu procesele de precizie. Este o componentă hardware de bază care determină direct calitatea imaginii ecranului, durata de viață și rata de randament.
Atelierul este proiectat și construit strict în conformitate cu standardele internaționale și interne ISO. Adoptă un mod vertical de flux de aer unidirecțional, cuplat cu un sistem de filtrare ULPA în patru-etape (pre-filtru, filtru de eficiență medie-, filtru de-eficiență ridicată și filtru de eficiență ultra{-înaltă{-), obținând o eficiență de filtrare de până la 999999999999999999999999999999999 și eliminarea zonelor moarte ale fluxului de aer. Simultan, se realizează un control precis al mediului în toate dimensiunile: o temperatură constantă de 23±1 grade, umiditate relativă controlată la 45%-55%, o stare de presiune pozitivă menținută în zona curată și o diferență de presiune mai mare sau egală cu 10Pa între zonele adiacente, prevenind complet infiltrarea prafului extern; ținând cont de susceptibilitatea panourilor de afișare la deteriorarea electrostatică, se folosește pardoseală autonivelantă anti-epoxidice-, iar pentru pereți și tavane se folosesc plăci din oțel inoxidabil 304 și oțel color cleanroom, cu control strict al valorilor electricității statice pe tot parcursul procesului; este asigurat un control suplimentar pentru poluanții chimici COV la nivel molecular-și interferențele latente, cum ar fi micro-vibrațiile, îndeplinind cerințele proceselor la scară nanometrică, cum ar fi fotolitografia, depunerea de peliculă subțire și injecția cu cristale lichide.
Atelierul adoptă un design de zonare a camerelor curate pe niveluri, împărțit într-o zonă centrală Clasa 100, o zonă tampon Clasa 1000 și o zonă auxiliară Clasa 10.000, cu straturi care împiedică contaminarea încrucișată, iar personalul și liniile automate de transport de materiale sunt complet separate. Personalul trebuie să treacă printr-un proces triplu de schimbare a hainelor, duș de aer și detecție electrostatică și poate intra numai după ce poartă un costum de cameră curată-corp complet, mănuși fără praf-și ochelari de protecție; materialele sunt transferate prin ferestre de transfer interblocate și sunt supuse unui tratament de îndepărtare a prafului și a electricității statice; interiorul este echipat cu hote cu flux laminar FFU, contoare de particule online, senzori de temperatură și umiditate, monitoare de presiune diferențială și alte echipamente pentru a realiza monitorizarea în timp real de 24-ore și trasabilitatea datelor și va emite imediat avertismente și va face ajustări în cazul indicatorilor anormali pentru a asigura stabilitatea continuă a mediului.
